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利用壓力傳感器提高工業(yè)設(shè)備性能的2種方法

來源：上海自動(dòng)化儀表有限公司作者：發(fā)表時(shí)間：2019-09-24 09:22:50【小中大】

壓力傳感器用于將流體壓力轉(zhuǎn)換為可監(jiān)視和控制系統(tǒng)的電信號(hào)，并且現(xiàn)如今壓力傳感器已成為保護(hù)和優(yōu)化工業(yè)設(shè)備的寶貴工具。下面為您介紹利用壓力傳感器提高工業(yè)設(shè)備性能的2種方法。

1.創(chuàng)新的施工方法

精密的設(shè)計(jì)和彈性是高度創(chuàng)新和精心控制的施工方法的結(jié)果，例如化學(xué)氣相沉積（CVD）和濺射薄膜的先進(jìn)應(yīng)變計(jì)技術(shù)。CVD是制造應(yīng)變傳感器的特別有效的方法，其利用壓力隔膜來檢測運(yùn)動(dòng)，并將該信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。使用CVD生產(chǎn)的器件通常是緊湊的，并且可以提供高精度和優(yōu)異的滯后特性。這些傳感器大批量制造在晶圓上，并使用多晶硅沉積在不銹鋼基板上，采用化學(xué)銑削的應(yīng)變計(jì)圖案。

與CVD工藝一樣，濺射薄膜也是最近壓力傳感器成功的必要條件。在濺射過程中，所需材料的固體靶被激發(fā)的粒子轟擊，導(dǎo)致原子從靶釋放。濺射薄膜工藝沉積使用這些釋放的原子形成薄膜。在壓力傳感器的制造中使用濺射薄膜工藝提供了靈敏且堅(jiān)固的隔膜，適合直接接觸幾乎所有的油，液體和氣體。

壓力傳感器化學(xué)制造方面的這些創(chuàng)新已經(jīng)與電子學(xué)領(lǐng)域同樣重要的進(jìn)步合作，大大提高了傳感器的能力。例如，近年來為電子封裝提供壓力傳感器使得每個(gè)傳感器都能夠被調(diào)諧，以滿足每個(gè)客戶的確切要求。

2.先進(jìn)的ASIC技術(shù)

這些電子封裝采用先進(jìn)的ASIC（專用集成電路）技術(shù)，可以增強(qiáng)功能和性能。它們也可以定制，提供有效和方便的選擇，在不需要復(fù)雜和昂貴的控制技術(shù)的情況下降低成本。引入ASIC的經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢非常顯著。結(jié)合批量制造技術(shù)的改進(jìn)，ASIC技術(shù)的引入在許多情況下將壓力傳感器的單位成本降低了10倍。因此，很多制造商已經(jīng)能夠開始銷售壓力傳感器了，這些壓力傳感器提供的性能水平以前與以300英鎊售價(jià)的單位相關(guān)，而壓力傳感器只需30英鎊。

將濺射薄膜和CVD技術(shù)與ASIC電子封裝相結(jié)合，可以為越來越多選擇研究壓力傳感技術(shù)優(yōu)勢的工程師提供精確性和可靠性的強(qiáng)大組合。目前可用的各種壓力傳感器產(chǎn)品將允許工程師在更具挑戰(zhàn)性的環(huán)境中應(yīng)用壓力傳感器，以及組件的模塊化特性，這增加了壓力傳感器容納中可用選項(xiàng)的多樣性。

壓力傳感器將繼續(xù)改進(jìn)和發(fā)展，提供更高水平的數(shù)據(jù)采集和系統(tǒng)控制，既可以應(yīng)用于目前使用它們的許多行業(yè)，也可以應(yīng)用于將來采用它們的行業(yè)。

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