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低壓條件下高靈敏度拉壓式傳感器的設(shè)計(jì)與應(yīng)用
來源：上海自動(dòng)化儀表有限公司作者：發(fā)表時(shí)間：2018-12-26 08:50:29【小中大】
如今，環(huán)境問題和氣候變化是一個(gè)巨大的全球性問題，拉壓式傳感器在環(huán)境監(jiān)測(cè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。這種傳感器在各種研究項(xiàng)目中具有廣泛的應(yīng)用，并且還被氣象站廣泛使用。可以檢測(cè)最微小壓力變化的高質(zhì)量低壓傳感器安裝在測(cè)量高壓大氣壓的無線電探空儀中。類似地，這種拉壓式傳感器可以檢測(cè)由于高度變化引起的低壓變化。它們非常精密，即使在樓梯間，它們也可以根據(jù)高度變化讀取壓力變化的變化！上海自動(dòng)化儀表有限公司拉壓式傳感器還可用于精確測(cè)量3D導(dǎo)航和空間定向中的低壓變化。
不同類型的拉壓式傳感器
隨著微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展，市場(chǎng)上已經(jīng)引入了不同型號(hào)的基于MEMS的低壓傳感器。根據(jù)它們使用的原理，壓力傳感器可以采用拉壓式，諧振式，電容式等形式。在所有這些中，拉壓式傳感器是最受歡迎和廣泛使用的。這是因?yàn)樗鼈兙哂酗@著的優(yōu)點(diǎn)，例如對(duì)壓力變化的最低變化的高靈敏度，準(zhǔn)確的讀數(shù)，可重復(fù)性和出色的線性度。當(dāng)器件暴露在環(huán)境中時(shí)，這些器件基于壓敏電阻器低壓傳感器的電阻來記錄壓力。
拉壓式傳感器傳感器配置
上海自動(dòng)化儀表有限公司這種類型的傳感器具有四個(gè)壓電電阻器，方形膜和膜上的橫梁。該梁包括三層，即硅層，鋁層和隔離層。四個(gè)壓電電阻器嵌入硅層中。
在所使用的四個(gè)壓阻傳感器中，兩個(gè)垂直地位于膜的兩側(cè)。當(dāng)膜暴露于增加的壓力時(shí)，它們檢測(cè)到壓力的變化，因?yàn)樗鼈兊淖枇υ黾印?/div>
另外兩個(gè)壓電電阻器與膜平行，它們的電阻隨著壓力的增加而減小。四個(gè)壓電電阻通過電橋連接。
拉壓式傳感器的應(yīng)用
除了廣泛用于測(cè)量大氣和高海拔的低壓變化外，拉壓式傳感器還有其他幾種應(yīng)用。
這種低壓傳感器廣泛用于醫(yī)療應(yīng)用中，用于測(cè)量體內(nèi)的超低血壓波動(dòng)。
它們還用于測(cè)量使用觸摸技術(shù)或采用敏感E-skin技術(shù)設(shè)計(jì)的低壓變化（特別是低于100 Pa）。
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